EVCCQ Series Ultra - сверхвысоковакуумные затворы с пневмоприводом. Обладают следующими преимуществами: продуманная конструкция, стабильная работа, небольшой размер, надежное использование, хорошая герметичность и длительный срок службы. Может широко использоваться в высоковакуумном оборудовании. Средой клапана является чистый воздух и неагрессивный газ
Принцип действия затвора следующий: тарелка затвора приводится в действие пневмоцилиндром для открытия или закрытия сечения затвора в системах сверхвысокого вакуума.
| Модель | EVCCQ-63B (CF) | EVCCQ-80B (CF) | EVCCQ-100B (CF) | EVCCQ-160B (CF) | EVCCQ-200B (CF) | EVCCQ-250B (CF) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Рабочий диапазон давлений | Pa | 1.3x10-7 ~ 1.2x105 | |||||
| Внутренний номинальный диаметр | мм | 63 | 80 | 100 | 150 | 200 | 250 |
| Натекание | Па· Л / с | 1.3x10-7 | |||||
| Перепад давления для открытия (не более) | Pa | 3000 (произвольный) | |||||
| Соединительный Фланец | — | CF, ISO-K, GB-LP, ISO-F | |||||
| Наработка на отказ | время | 10000 | |||||
| Температура тарелки | ℃ | в закрытом положении 120 ℃, в открытом -150 ℃ | |||||
| Рабочее напряжение привода | V | 220 ± 10% (Другие спецификации могут быть настроены) | |||||
| Время срабатывания / закрытия | s | ≤ 6 | |||||
| Сжатый Воздух | Мпа | 0.4~0.7 | 0.5~0.7 | ||||
| Индикатор положения клапана | — | Магнитный переключатель | |||||
| Ориентация установки | — | Любой | |||||
| Рабочая температура | ℃ | 5~40 | |||||